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    1. 用于C4F6?C5F8?COS的檢測器 TP-70DGⅡ

      特征:

        通過采用含有催化劑的熱分解器,實現減少干擾帶來的影響
        單觸式的傳感器更換方式
        搭載新型智能化傳感器
        采用易于觀察的大型字符LCD
        搭載流量自動調整功能

      用途:

        用于檢測半導體工廠內的C4F6/C5F8/COS
        用于對儲氣瓶存放柜及半導體制造裝置進行檢測
        用于無塵室內的環境監測

      產品類別

      固定式

      類型

      智能型檢測部

      檢測對象氣體

      C4F6/C5F8/COS

      檢測原理

      催化+定電位電解式

      檢測范圍

      05ppmC4F6?C5F8
      0
      15ppmCOS

      報警設定值

      1st2ppm/2nd:4ppmC4F6?C5F8
      1st
      5ppm/2nd:10ppmCOS

      檢測方式

      泵吸式

      報警種類

      氣體報警/故障報警

      報警內容

      1stALM1指示燈閃爍、或亮燈(紅色)
      2st
      ALM2指示燈閃爍、或亮燈(紅色)

      電源

      AC100240V±10%

      外形尺寸?重量

      180(W)×225(H)×285(D)mm(不包含突起部分)
      6.0kg

      使用時的溫濕度范圍

      2040℃無驟變
      40
      70%RH(無結露)

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